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Halbleiter www markttechnik de 24 2025 18 lichkeit bieten können Designs auf Basis der fortschrittlichsten Technologieknoten wie Nanosheet-Transistoren und CFETs zu erstellen und somit Erfahrung zu sammeln Der zweite Vorteil liegt aus Furnemonts Sicht in der Technologie selbst beziehungsweise im Zugang zu Infrastruktur und technologischen Ressourcen In diesem Zusammenhang verweist er nicht nur auf die bereits bestehende Fertigungsinfrastruktur beim imec sondern auch darauf dass diese Infrastruktur ständig mit dem modernsten Equipment ergänzt wird Furnemont weiter »Diese Infrastruktur nutzen wir um Integrationsabläufe und Prozesse zu entwickeln beispielsweise auch Maskensätze « Der dritte Vorteil liegt laut Furnemont darin dass mit der NanoIC-Pilotlinie das Ökosystem stärker vernetzt und aufgebaut werden kann Denn mit der NanoIC-Pilotlinie werden alle wichtigen Bereiche zusammengebracht angefangen bei den Materialund Equipment-Lieferanten über IDMs Foundries sowie Startups und KMUs und Forschungsinstitutionen bis hin zu EDA-Unternehmen sowie OEMs Furnemont abschließend »Wir schließen die Lücke zwischen Forschung und marktfähigem Produkt – das ist unser Kernanliegen « Neue 300-mm-Fab Laut Jeffrey Smith VP Fab Engineering – imec wird im Rahmen des NanoIC-Projekts am Standort in Leuven eine neue 300-mm-Fab gebaut die die bestehende Pilotfertigung erweitert Dieses Gebäude wurde so entworfen dass es die technischen Entwicklungen der nächsten 10 bis 20 Jahre aufnehmen kann Damit sei es auch möglich mehr Programme parallel durchzuführen und die Lernprozesse – sowohl für die imec-Partner als auch für imec selbst – deutlich zu beschleunigen Nachdem es sich um eine Forschungs-Fab handelt in der das Equipment Prozessabläufe Materialien etc immer wieder verändert werden um sie zu optimieren setzt das imec auf sein sogenanntes SmartFab-Projekt Mithilfe einer virtuellen Fab und dynamischen Simulationen und der damit bestehenden Möglichkeit auf veränderte Bedingungen reagieren zu können will das imec die Planung optimieren bessere Vorhersagen treffen und Prozesse transparenter machen und somit den Lernprozess effizienter gestalten – sowohl für die Wissenschaftler am imec als auch für imec-Kunden Smith »Damit können unsere Kunden in Echtzeit nachvollziehen wo sich ihre Wafer befinden wann Ergebnisse zu erwarten sind und wie weit die Bearbeitung fortgeschritten ist « Der SmartFab-Ansatz adressiert aber noch einen weiteren Aspekt Daten »In der Forschung geht es um das Aufdecken von neuen Daten »aber Daten allein reichen nicht aus sie müssen verfügbar sinnvoll verknüpft und analysierbar sein Besonders wichtig ist dabei auch versteckte Datenquellen wie Equipment-Parameter Verteilungsdaten oder Infrastrukturdaten sichtbar zu machen« sagt Smith Und dabei soll ein digitaler Zwilling helfen sprich ein vollständiges 3D-Abbild der Fab – ergänzt um Live-Daten wie Temperaturen Druckverhältnisse oder Ventilstellungen – das die Möglichkeit schafft Remote zu lernen und zu analysieren Mit diesen Daten will das Forschungsinstitut aber auch eine Zustandsüberwachung des Equipments durchführen und das mithilfe eines internen KI-Teams Denn die Vielzahl unterschiedlicher und seltener Prozess ereignisse im F E-Betrieb lässt sich nicht mit klassischen Methoden analysieren – hier hilft künstliche Intelligenz Muster zu erkennen und Vorhersagen zu treffen Der letzte Aspekt von SmartFab den Smith anführt ist eine automatisierte Charakterisierung Dafür entwickelt das imec derzeit »R D Data Dream« eine zentrale Anlaufstelle für alle Daten die beim imec oder im Ökosystem vorhanden sind Smith erklärt weiter »Es ist nicht nur eine Datensammlung sondern ein System das bei der Analyse und Berichterstattung hilft « Und abschließend fasst er zusammen »Der eigentliche Vorteil besteht darin dass wir diese Art von Zugang auch unseren Kunden bieten können ohne dass ein imec-Mitarbeiter involviert ist Dieses Portal wird für alle verfügbar sein und ich denke dass es die Arbeit also das Betrachten und Interpretieren von Daten viel einfacher machen wird « Das bietet das imec für DeepTech-Unternehmen Das brauchen DeepTech-Unternehmen aus der Sicht vom imec