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24 2025 www markttechnik de 17 »ist Europa ebenfalls von externen Akteuren abhängig »Das ist kein befriedigender Zustand wenn die strategische Existenz von externen Faktoren externen Akteuren abhängt« ist die Überzeugung von Kinaret »Deshalb ist es aus unserer Sicht dringend notwendig eine europäische Basis für fortgeschrittene Prozesstechnologien aufzubauen« folgert Kinaret Damit soll zumindest ein Problem gelöst werden Was sind die Ziele von NanoIC? Laut Arnaud Furnemont VP Pathfinding for Semiconductor Technologies – imec werden mit der NanoIC-Pilotlinie drei zentrale Bereiche adressiert • Fortschrittliche Interconnects Dazu zählt Furnemont Technologien wie das 3D D2W-Stacking D2W Die to Wafer 2 5D-Technologien Si-Interposer oder RDL Redistribution Layer Furnemont erläutert weiter »Um wirklich sehr viele Verbindungen zwischen zwei nebeneinander liegenden Chips zu realisieren spielt auch die Photonik eine sehr wichtige Rolle Deshalb gibt es im NanoIC-Projekt ein spezielles Projekt zur Integration von III-V-Lasern « • Fortschrittliche Logik Dabei geht es laut seiner Aussage einerseits darum die Reife der Nanosheet-Technologie für den 2-nm-Knoten N2 sowie die A14 und A10-Technologie voranzutreiben Andererseits soll auf der Pilotlinie aber auch die Weiterentwicklung der CFET-Technologie CFET Complementary FET vorangetrieben werden die ab dem A7-Knoten zum Einsatz kommen soll • Neue Embedded-Speicher Dabei geht es um die Weiterentwicklung von alternativen oder ergänzenden Ansätzen zu SRAM beispielsweise SOT-MRAM embedded DRAM und eine 3D-Speicherplattform Furnemont ist davon überzeugt dass die Pilotlinie langfristig drei wichtige Vorteile bringt Der erste Vorteil sei schlichtweg »Wissen« Denn die NanoIC-Pilotlinie biete nicht nur den Zugang zu modernsten Technologien und den fortschrittlichsten Entwicklungstools sondern im Rahmen dieser Pilotlinie will das imec auch gezielte Schulungen für Studenten Doktoranten etc abhalten Furnemont »Wir sind überzeugt dass dies einen entscheidenden Beitrag zur Ausbildung der nächsten Generation von Forschenden leistet « Es gibt aber noch einen weiteren zentralen Aspekt des Wissensaufbaus Das imec stellt sogenannte Design-Pathfinding-PDKs zur Verfügung Mit diesen PDKs könnten zwar keine vollständigen Chips entworfen werden aber sie verfügen über aus reichende Funktionalität damit Universitäten ihren Studenten die Mög-Die NanoIC-Pilotlinie ist ein europäisches Projekt Sie wird vom imec Belgien geleitet und dort wird sie auch installiert In das NanoIC-Projekt fließen aber auch das Wissen und Knowhow von folgenden Forschungspartnern ein CEA-Leti Frankreich Fraunhofer Deutschland VTT Finnland CSSNT Rumänien und das Tyndall National Institute Irland Bilder imec SmartFab automatische Charakterisierung