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6 Elektronik 02 2025 GMM-News IMpulse ICPT 2024 in Wiesbaden CMP – Schlüsseltechnik für die Fertigung von Mikroelektronik Vom 15 bis 18 Oktober 2024 tagte die einzig globale Konferenz im Bereich Halbleiter-Planarisierung CMP die »International Conference on Planarization CMP Technology ICPT« im Kurhaus Wiesbaden Das chemischmechanische Polieren CMP gehört zu den Schlüsseltechnologien für die Fertigung von mikroelektronischen Schaltkreisen und gewinnt dort immer weiter an Bedeutung So werden heute für die Herstellung der modernsten integrierten Schaltkreise in der sogenannten 3-nm-Technologie bis zu 40 CMP-Prozessschritte benötigt um Schichten einzuebnen oder diese über 12 Verdrahtungsebenen zu strukturieren Darüber hinaus kommen CMP-Prozesse für die Herstellung verschiedenster Sensoren oder Aktuatoren auf Halbleiterbasis zur Anwendung und werden auch in diesem Bereich kontinuierlich wichtiger Grund genug um sich im Rahmen einer internationalen Konferenz zu treffen und über Anwendungen Trends und Weiterentwicklungen des Verfahrens auszutauschen Die »International Conference on Planarization CMP Technology ICPT« bietet einen umfassenden Überblick über den aktuellen Stand der Forschung und Entwicklung sowie über industrielle Trends und Anforderungen Organisiert wurde die sehr erfolgreiche Veranstaltung erneut von der VDE VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystemund Feinwerktechnik GMM die bereits die früheren europäischen Treffen exzellent betreute Über 400 Teilnehmerinnen und Teilnehmer aus über 20 Ländern und mehr als 30 namhafte Aussteller aus der Halbleiterindustrie unter anderem Applied Materials Ebara Entegris DuPont Dow Park Systems und Bruker nahmen an der Konferenz teil Die Anzahl der Teilnehmer dazu mehr als 100 wissenschaftliche Beiträge in Vorträgen und Postern zeugen von der hohen Akzeptanz und Bedeutung dieses Treffens Die Keynotes der ICPT Als Keynote-Sprecher konnten drei anerkannte Spezialisten aus der Halbleiterindustrie gewonnen werden ➔ Dr Saifi Usmani Merck USA referierte über das Thema »Development and Implementation of a Data Ecosystem to enable Endto-End Advanced Predictive Manufacturing using AI« Austragungsort der ICPT 2024 war das Kurhaus Wiesbaden Bild Jonas Kron VDE