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02 2025 Elektronik 7 GMM-News IMpulse ➔ Dr Alberto Pirati ASML Niederlande gab in seinem Vortrag »Lithography roadmaps« einen Ausblick auf die Zukunft ➔ Prof Dr Harald Kuhn Fraunhofer ENAS Deutschland widmete seine Keynote dem Thema »Challenges for hetero integration process technology test and reliability« Alle Keynote-Sprecher betonten in ihren Beiträgen die Wichtigkeit von CMP als einem wesentlichen Prozess in der Halbleiterfertigung der dabei hilft die benötigte Präzision und Qualität für die Herstellung moderner Mikrochips sicherzustellen CMP trägt dazu bei dass Halbleiterhersteller mikroskopisch präzise Schaltkreise mit hoher Leistungsfähigkeit und minimalen Defekten produzieren können Dies macht CMP zu einem unverzichtbaren Prozess in der modernen Mikrochipherstellung Die Auszeichnungen der ICPT Der »ICPT Outstanding Achievement Award« ist eine Auszeichnung die an herausragende Persönlichkeiten verliehen wird die bedeutende Beiträge zum CMP in Forschung Entwicklung und Industrie geleistet haben Bei der ICPT 2024 wurde dieser Award an folgende drei Personen verliehen ➔ Dr Eric Jacquinot EMD Merck Primary Research Scientist im Bereich Klebosol und bei vielen anderen weltweit verwendeten kolloidale Kieselsäure-Slurries ➔ Dr Bo Un Yoon Samsung Maßgeblich Beitragender zum Thema CMP bei Samsung anerkannt führend auf dem Gebiet der CMP ➔ Prof Yuzhuo Li posthum Treibende Kraft in der CMP-Forschung und Entwicklung an der Clarkson University und bei BASF von den 1990er-Jahren bis zu seinem Tod im Jahr 2012 Die Ehrung würdigt nicht nur die beruflichen Leistungen sondern auch das Engagement und die Inspiration die diese Persönlichkeiten anderen bieten Während der Konferenz wurde auch der beste studentische Beitrag ausgezeichnet Muskan Muskan von der Hanyang University in Südkorea gewann den Doi-Award für das beste Student Paper für ihren Beitrag »Effect of sugar alcohols on removal rate and ceria contamination as a function of carbon number in STI-CMP« Der Doi-Award wird für das beste Student Paper vergeben und ist benannt nach Prof Dr Toshiro K Doi einem der Pioniere der CMP der auf der ICPT2022 für sein Lebenswerk geehrt wurde Interessierte finden weitergehende Informationen unter www icpt2024 org Catharina Rudolph Fraunhofer Institut for Reliability and Microintegration IZM ih Dr Knut Gottfried Fraunhofer ENAS eröffnete als Konferenzleiter die ICPT 2024 Bild Jonas Kron VDE Fraunhofer ENAS und ELES kooperieren im TRC Chemnitz Zuverlässigkeitsprüfung von Halbleitern In Chemnitz entsteht das »Test and Reliability Center« TRC zur Zuverlässigkeitsbewertung von Halbleitern Das Fraunhofer ENAS hat bereits in der Aufbauphase den ersten Kooperationspartner gefunden ELES einen führenden Anbieter für Zuverlässigkeitsprüfanlagen ELES liefert ein hochmodernes System zur Bewertung der elektrischen Zuverlässigkeit und schafft damit ideale infra strukturelle Voraussetzungen für die Arbeit des TRC um die Halbleiterbranche beim Erfüllen höchster Qualitätsstandards zu unterstützen Auch sollen im Rahmen der Partnerschaft neue automatisierte Prüfverfahren für die Chipindustrie entwickelt werden Die Sicherung hoher Qualitätsniveaus in der Halbleiterfertigung ist für die einwandfreie Funktionalität einer Vielzahl heutiger elektronischer Produkte und Systeme elementar Mit dem TRC erhalten Halbleiterhersteller in Deutschland und Europa einen starken Partner für die Testund Zuverlässigkeitsbewertung leistungsstabiler Halbleiterprodukte Das Kompetenzzentrum wird dabei Forschung und Entwicklung am Standort Chemnitz vereinen Der italienische Testanlagenhersteller ELES erweitert mit seinem »Burnin-Testsystem« die derzeit im Aufbau befindliche Infrastruktur des TRC Die neue Anlage soll es erlauben elektronische Systeme wie Prozessoren CPUs digitale Speicher anwendungsspezifische integrierte Schaltungen ASICs mikroelektromechanische Systeme MEMS und Sensortechnologien auf Funktionsfähigkeit Stabilität und Qualität zu prüfen Indem Bauteile und Baugruppen unter Funktionsbedingungen d h unter Strom extre men Temperaturintervallen ausgesetzt und damit beschleunigte Alterungsprozesse künstlich simuliert werden lassen sich Mängel identifizieren und mögliche Frühausfälle aufdecken Kunden des TRC also kleine und mittlere Unternehmen der Halbleiterbranche können von dem experimentellen Testangebot des TRC profitieren Außerdem wollen das Fraunhofer ENAS und ELES ihr Test-Knowhow für die Qualitätssicherung von Halbleiterkomponenten und -baugruppen bündeln So werden sie die Fehlererkennung mit Methoden des maschinellen Lernens verzahnen st