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3D -Sen s o r en © k ra s9 9 © d 3i m ag es - Fot ol ia www trelectronic de Flexibel schnell kompakt C 582 Drehgeber Die bewährte Generation Vielseitiger Netzwerker als Standard Industrial Ethernet PROFInet EtherCAT Ethernet IP Powerlink Feldbusse CANopen PROFIbus Interbus Punktzu-Punkt SSI Analog Parallel RS485 IO-Link DRIVECLiQ Von magnetisch robust bis optisch hochpräzise Voll-Sackloch-Hohlwelle Seilbox Klauenkupplung Schutzart bis IP67 M12-Stecktechnik Singleoder Multiturn schmales 58mm-Gehäuse Lager Logistik Fabrikautomation Metallbearbeitung erneuerbare Energien Verpackung uvm Laserscanner der Reihe ‚Scancontrol’ entweder per Roboter oder Verfahranlage über ein Messobjekt bewegt oder die Messobjekte etwa über Förderbänder am Scanner vorbeigeführt Die Laserscanner gibt es mit zahlreichen Messbereichen Redund Blue-Laser-Technologien und Zubehör Über die Ethernet-GigE-Vision-Schnittstelle lassen sie sich in Bildverarbeitungs-Softwarepakete einbinden Für die Geometrieüberwachung bieten sich die Laserscanner von Micro-Epsilon an die sich einfach parametrieren und ohne Programmierkenntnisse in die Linie einbinden lassen Die Auswertung der 3D-Scans wird in der Software visualisiert die Ergebnisse lassen sich dokumentieren und weiterverarbeiten ik Grundelemente für Leiterplatten dienen wie sie etwa in Sensoren Smartphones oder Computern genutzt werden Entspricht die Ebenheit des Substrats nicht den Vorgaben lassen sich Baugruppen bei der Bestückung nicht exakt aufbringen Für High-End-Substrate aus Keramik zum Beispiel gelten Messgenauigkeitsanforderungen von bis zu 2 µm Diese Aufgabe kann der 3D-Snapshot-Sensor Surfacecontrol 3D 3500‘ übernehmen der direkt in der Produktionslinie auf die matte Oberfläche der Substrate misst Die Messwerte werden im Sensor verrechnet und über die integrierte Gigabit-Ethernet-Schnittstelle an einen externen PC ausgegeben Eine Weiterverarbeitung Beurteilung und Protokollierung der 3D-Daten ist mit der Software 3DInspect möglich Werden Defekte an den Substraten erkannt erfolgt über die Steuereinheit eine vollautomatische Aussortierung des Schlechtteils Eine Messung mit anschließender Berechnung und Auswertung erfolgt innerhalb von nur 1 5 s 3D-Vermessung spiegelnder Oberflächen 3D-Messungen auf spiegelnden und glänzenden Oberflächen übernimmt der Sensor ‚Reflectcontrol‘ Er lässt sich für mikrometergenaue Messungen stationär zur Überwachung der Fertigungslinie oder für die Inline-Inspektion beispielsweise am Roboter einsetzen Auf dem Sensordisplay wird ein Streifenmuster generiert das über die Oberfläche des Messobjekts in die Kameras des Sensors gespiegelt wird Abweichungen verursachen Verzerrungen im Streifenmuster die mit der Software ausgewertet werden Anwendung findet der Sensor vor allem in der Halbleiterindustrie beispielsweise zur 3D-Formerfassung von Wafern Der Sensor kontrolliert die Ebenheit beziehungsweise Planarität von Wafern mit nur einer Aufnahme Er liefert eine genaue 3D-Darstellung der spiegelnden Oberfläche mit der die Topologie mikrometergenau bestimmt werden kann Inline-Qualitätsprüfung Um 3D-Scans zu generieren muss eine Bewegung erfolgen Dazu werden die Viktor Kirchgessner ist Gruppenleiter Beratung Vertrieb 2D 3D bei Micro-Epsilon in Ortenburg