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www markttechnik de Nr 33 2021 8 Aktuell Nachrichten Halbleiterdefekte charakterisieren Fraunhofer IISB eröffnet Kompetenzzentrum für Röntgen-Topografie Mit dem XRTmicron von Ri gaku steht am Fraunho fer IISB in Erlangen nun ein welt weit einzigartiges Instrument zur Verfügung das die Charakterisie rung von Defekten in Halbleiterma terialien revolutionieren könnte Damit lassen sich über einen kom pletten Wafer bis 300 mm Durch messer hinweg Halbleitermateria lien mit hoher RöntgenAbsorption wie GaN GaAs InP CdTe sowie sehr dünne Epitaxieschichten z B Siliziumkarbid und Nitride auf Kristallfehler hin untersuchen Um die Halbleiterindustrie weltweit bei der Verbesserung von Halbleiter materialien und der Produktion von Bauelementen zu unterstützen ha ben Rigaku Japan Rigaku Europe und das Fraunhofer IISB darüber hinaus den Standort Erlangen als „Center of Expertise for Xray To pography“ implementiert Auch wird das Fraunhofer IISB als welt weites Demonstrationszentrum für das XRTmicron fungieren Zwei verschiedenartige Rönt genquellen in einem Gerät – eine basierend auf Silber und eine auf Chrom – in Kombination mit dem Einsatz eines Weitwinkelgonio meters ermöglichen es ein breites Spektrum an Beugungseigenschaf ten für verschiedene Halbleiterma terialien zu untersuchen Mit dem neuen Instrument lassen sich ver schiedene Arten von Kristalldefek ten auf voller Wafergröße mit hoher Geschwindigkeit und hoher Auflö sung sowohl bildlich darstellen als auch quantifizieren – sowohl für un bearbeitete Wafer als auch für Wafer mit Epilayern teilweise prozessierte Wafer und gebondete Wafer Um Defekte im Volumen der Probe oder nahe der Oberfläche zu erkennen und zu quantifizieren ar beitet das XRTmicron sowohl im Transmissions als auch im Refle xionsmodus Außerdem ist es mit einer Standardkamera und einer hochauflösenden XTOPCCDKa mera ausgestattet die Bilder mit ei ner räumlichen Auflösung von 5 4 µm bzw 2 4 µm pro Pixel bei einer Einzelbildgröße von 18 mm × 13 5 mm aufnehmen können Da mit lassen sich Wafer vollständig abbilden und detaillierte Defektbil der von interessierenden Bereichen unter verschiedenen Beugungsbe dingungen erstellen Darüber hinaus ist das XRTmi cronSystem mit einer speziellen Schlitzanordnung ausgestattet um hochauflösende topografische Mes sungen im Querschnitt durchzufüh ren und somit detaillierte Tiefenin formationen über die gesamte Dicke der Probe zu liefern So las sen sich beispielsweise Defekte quantifizieren die durch das Auf wachsen von Epilayern auf der Oberseite eines Wafers entstanden sind Dazu Prof Dr Martin März vom Fraunhofer IISB »Gemein sam mit Rigaku wollen wir die Halbleiterindustrie einerseits mit fundierten wissenschaftlichen Er kenntnissen zur Charakterisierung von Materialdefekten unterstützen Andererseits wollen wir praxistaug liche Messroutinen und Defektzähl algorithmen entwickeln « rh ■ Bild Kurt Fuchs Fraunhofer IISB Prof Dr Martin März links Leiter des Fraunhofer IISB und Dr Michael Hippler Präsident von Rigaku Europe weihen das neue Röntgentopografie-Tool XRTmicron ein Ergänzung für Profinet und Profibus Neues Profil für Robotersysteme Um ein Profil für Robotersys teme erweitert die Nutzeror ganisation Profibus Profinet International PI jetzt ihr Techno logieportfolio – zusätzlich zu den Profilen Profisafe Profi drive Pro fienergy und PA Ausarbeiten wird das Profil die neu gegründete Wor king Group „Profile for Robot Sys tems“ Als ihre Kernaufgabe betrachtet PI die herstellerübergreifende Stan dardisierung von Datenschnittstel len um die Kommunikation in Au tomatisierungsanlagen einfach und interoperabel zu gestalten Das neue Profil zielt dabei besonders auf stationäre Roboter in von SP Sen gesteuerten Produktionslinien ab Die Roboter werden als Kom plettsysteme integriert um den Au tomatisierungsgrad zu erhöhen und Kosten zu senken Weil die Produk tionslinie typischerweise von einer SPS gesteuert wird und der Anwen der die Applikation über das Pro grammiersystem der SPS program miert möchte er auch die in der Produktionslinie integrierten Robo terKomplettsysteme verschiedener Hersteller über das SPSProgram miersystem einheitlich steuern und programmieren können Vor diesem Hintergrund will PI jetzt eine einheitliche Daten schnittstelle zwischen der SPS und den Robotersteuerungen definie ren um die Roboterprogrammie rung für SPSProgrammierer und SPSAnbieter einheitlich – und da mit effizienter – zu gestalten Die Datenschnittstelle soll ermögli chen dass Roboterprogramme vollständig in der SPS geschrieben werden können Dadurch benötigt der SPSHersteller nur noch eine einzige Roboterbibliothek auf Ba sis der Datenschnittstelle während andererseits auch der Roboterher steller nur noch einen einzigen In terpreter für seine Robotersteue rung implementieren muss Über die Datenschnittstelle sollen die Roboterfunktionen aufgerufen und die erforderlichen Informationen über den Roboterstatus an die SPS zurückgemeldet werden Als primäre Zielgruppe des Schnittstellenkonzepts betrachtet PI die SPS und Roboterprogram mierer die eine Maschine oder Produktionslinie einschließlich Robotern implementieren OEM Profitieren sollen davon aber auch Maschinenbediener und Anlagen betreiber Endkunden Zur Umsetzung sollen alle be kannten Roboterfunktionen her stellerneutral in der Datenschnitt stelle definiert werden wobei der Schwerpunkt auf der Handhabung von Anwendungen liegt ak ■