Der Blätterkatalog benötigt Javascript.
Bitte aktivieren Sie Javascript in Ihren Browser-Einstellungen.
The Blätterkatalog requires Javascript.
Please activate Javascript in your browser settings.
10 Elektronik 08 2021 Impulse Interview mit Agnes Jahnke X-Fab Siliziumkarbid aus der Foundry Agnes Jahnke Frau Jahnke wie kam es eigentlich dass X-Fab ins Foundry-Geschäft für Siliziumkarbid eingestiegen ist? X-Fab ist eine Foundry-Gruppe für Analogund MixedSignal-Halbleitertechnologien Wir bieten CMOSund SOIauf-Siliziumbasierte Technologien von 1 0 Mikrometer bis hinunter zu 0 13 Mikrometer an Ergänzt wird unser Angebot durch MEMSund Wide-Bandgap-Prozesse Siliziumkarbid prozessieren wir bisher nur in Lubbock Texas in unserer 6-Zoll-Fab die wir 1999 von Texas Instruments gekauft haben ursprünglich um dort normale CMOS-Prozesse zu fahren Unser Engagement für Siliziumkarbid begann 2013 mit der Idee SiC-Wafer auf der gleichen Linie wie die Siliziumwafer zu prozessieren Doch schon bald wurde uns klar dass eine simple Umrüstung der Anlagen nicht ausreicht Daher haben wir im Laufe der Zeit immer wieder neue dedizierte SiC-Maschinen in die Fertigung integriert von denen die meisten für 8-Zoll-Wafer geeignet sind Heute besitzt X-Fab die weltweit größte reinrassige Foundry für Siliziumkarbid Wir erhöhen ständig unsere Volumina in diesem Bereich und könnten im Grunde die gesamte Fab-Kapazität in Lubbock für Siliziumkarbid nutzen Wir haben alle notwendigen Anlagen hinzugefügt um hochwertige Dioden JFETs und MOSFETs zu fertigen und kürzlich haben wir einen eigenen Epi-Reaktor für hochwertige SiC-Wafer in Betrieb genommen Läuft das Foundry-Geschäftsmodell bei SiC genauso wie bei Silizium? Es gibt schon einige Unterschiede Gewöhnlich entwickeln Silizium-Foundries offene Technologieplattformen für das Prozessieren der Wafer Die Kunden können ihr IC-Design mit einem sogenannten Process Development Kit und bekannter Software wie der von Cadence oder Mentor erstellen Die Foundry ist für die Entwicklung des Halbleiterfertigungsprozesses und die Herstellung des Wafers verantwortlich Dies Bei Galliumnitrid gibt es bereits ein gut funktionierendes Foundry-Geschäft nicht aber bei Siliziumkarbid Welche Herausforderungen und Chancen es beim Prozessieren von SiC in einer Foundry gibt verriet uns Agnes Jahnke Produktmarketing-Managerin SiC und GaN bei X-Fab Semiconductor Foundries Von Ralf Higgelke ist bei X-Fab als Produktmarketing-Managerin für den Bereich Siliziumkarbid SiC und Galliumnitrid GaN zuständig ist in der Summe ein extrem skalierbares Geschäftsmodell Einige Partner möchten jedoch nicht nur ihr eigenes Design sondern auch ihre eigene Prozess-IP implementieren und die Foundry als reine Fertigungsstätte nutzen der sogenannte »Copy exact«-Ansatz Auch wir nutzten dieses Geschäftsmodell in den Anfangsjahren bei Siliziumkarbid aber mit jedem Kunden und unseren eigenen Lernzyklen in Forschung und Entwicklung kristallisierten sich ähnliche Best-PracticeProzesse für die gleichen Bauelemente heraus Daher entschlossen wir uns Standardprozesse für gängige Fertigungsschritte zu entwickeln so genannte Standard Process Blocks Dadurch können heute auch weniger erfahrene Kunden eine Prozessentwicklung mit Siliziumkarbid beginnen indem sie ihre Prozessarchitektur ihr Design und ihren spezifischen Implantationsplan mitbringen Alternativ dazu können Kunden SiC-Design oder Prozess-IP von unseren Partnern kaufen Bitte erklären Sie uns das mit den Standardprozessblöcken noch genauer Ein Standardprozessblock ist ein Satz von Prozessschritten für einen bestimmten Teil des Gesamtprozesses der alle notwendigen Schritte für eine Schicht innerhalb des Prozessablaufs zusammenfasst Beispiele dafür sind die Formierung des Gate-Anschlusses oder die ohmschen Kontakte Ein Standardprozessblock umfasst drei Elemente Erstens beinhaltet er Block-Routing-Spezifikationen und Routing-Spec-Werte Das ist eine Beschreibung der notwendigen Prozessschritte und der Reihenfolge Routing genannt die den entsprechenden Prozessschritt zum Beispiel eine Gate-Formierung definieren Zweitens umfasst ein Standardprozessblock Spezifikationen für Bausteinblöcke die das Ergebnis des Prozesses vorgeben Und drittens braucht es Teststrukturen und -methoden für die Qualitätskontrolle innerhalb und außerhalb der Fertigungslinie die Teil des Prüfplans sind