Der Blätterkatalog benötigt Javascript.
Bitte aktivieren Sie Javascript in Ihren Browser-Einstellungen.
The Blätterkatalog requires Javascript.
Please activate Javascript in your browser settings.
Sensorik www markttechnik de Nr 39 2024 32 Materialcharakterisierung von Metalloxiden und organischen Materialien Beheizte Test-Chips für Dünnschicht-Gassensoren Das Fraunhofer IPMS hat eine Plattform entwickelt die Entwicklern von Dünnschicht-Gassensoren eine präzisere und effizientere Charakterisierung sensorischer Schichten ermöglicht Die beheizbaren Test-Chips erlauben die gezielte Untersuchung von Sensitivität Selektivität und weiteren Parametern und könnten damit die Grundlage für zukünftige Hochleistungs-Gassensoren legen Der Nachweis von Gasen wie beispielsweise NO 2 NH 3 CO H 2 Soder flüchtigen organischen Verbindungen VOC wie Aceton Formaldehyd und Methanol ist entscheidend um potenzielle Gesundheitsgefahren rechtzeitig zu erkennen Gassensoren auf Basis von Einzelkomponenten-Metalloxiden und von Materialien auf Kohlenstoffbasis haben derzeit aber noch einige Einschränkungen wie etwa eine geringe Empfindlichkeit im unteren ppmund ppb-Bereich sowie eine begrenzte Lebensdauer Das verhindert ihre breite Anwendung als Hochleistungs-Gassensoren Wissenschaftler arbeiten daran elektrische und thermische Eigenschaften in Verbindung mit hoher Empfindlichkeit schnellem Ansprechverhalten hoher Selektivität und schneller Wiederholbarkeit zu erzielen Eine entscheidende Rolle dabei spielt die Charakterisierung sensitiver Schichten um die verwendeten Materialien gezielt herstellen und einsetzen zu können Maßgeschneiderte Substrate für präzise Materialbewertung Das Fraunhofer IPMS setzt auf Leitfähigkeitsund Einzeltransistorstrukturen für die Bewertung neuartiger Materialien Die neuen Substrate können für die Charakterisierung elektrischer Materialkenngrößen von Dünnschicht-Gassensoren eingesetzt werden und dienen zudem als Grundlage für weiterführende Produktentwicklungen »Oft müssen Gassensoren unter definierten Temperaturen betrieben werden« erklärt Dr Alexander Graf Leiter der Gruppe Gas Sensors and Systems am Fraunhofer IPMS »Unsere Substrate ermöglichen die gezielte Einstellung der Schichttemperatur wodurch sich Materialien einfach und effektiv untersuchen las-Testsubstrat des Fraunhofer IPMS mit Heizstruktur Beispiel-Wärmebildaufnahme eines per Vakuumsauger gehaltenen beheizten Testsubstrats des Fraunhofer IPMS Bi ld er Fra un ho fe r IP M S Testsubstrate links eines mit Heizstruktur im Größenvergleich zum Eurocent