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8 Elektronik 13-14 2024 Gleichzeitig wirkt sich die Gütefunktion auf die Komplexität des Optimierungsproblems aus Tabelle 2 enthält die Anzahl der Optimierungsvariablen und der Nebenbedingungen sowie Statistiken über die Zeit bis zur Konvergenz des Tabelle 2 Auswertung der Problemkomplexität über fünf Szenarien anhand der Anzahl der Optimierungsvariablen der Nebenbedingungen und der Zeit bis zur Konferenz des Optimierungsalgorithmus Quelle Philip Dorpmüller Gewichtungen Variablen Nebenbedingungen Zeit ms Mittelwert Zeit ms Standardabweichung Zeit ms Maximum Wj 332 321 12 74 23 68 236 Wja 364 353 17 59 81 36 1577 Wa 324 313 9 26 9 73 164 Optimierungsalgorithmus Für die Laufzeitauswertung starten die anderen Fahrzeuge aus vier weiteren Positionen die ebenfalls in Bild 2 gekennzeichnet sind Die Gewichtung Wja führt dabei aufgrund der höchsten Problemkomplexität auf die höchste Rechenzeit Darauf folgt Wj während Wa im Schnitt die wenigste Zeit zur Optimierung benötigt Die Auswertung zeigt dass die Berücksichtigung der Beschleunigung den Ruck entlang der gefahrenen Trajektorie unverhältnismäßig stark erhöht und somit möglicherweise nicht dem erwarteten Komfort genügt Dabei erhöht sich die Problemkomplexität durch die simultane Berücksichtigung von Ruck und Beschleunigung in der Gütefunktion Die ruckminimale Gütefunktion erweist sich daher als sinnvoller Kompromiss aus Komplexität und Regelungsgüte ih Persistente organische Schadstoffe PFASfreie Polymermembranen für die Halbleiterfertigung Die gesundheitsund umweltschädlichen Chemikalien PFAS kurz für Perund Polyfluoralkylsubstanzen sind aufgrund ihrer Stabilität Wasserund Fettbeständigkeit in vielen Branchen weit verbreitet – in der Umwelt aber kaum abbaubar Für die Halbleiterherstellung gibt es jetzt Alternativen In der Fertigung von Halbleitern werden in zahlreichen Prozessschritten PFAShaltige Membranen eingesetzt Mit einer neuartigen PFASfreien Membran haben Forschende des Fraunhofer-Instituts für Angewandte Polymerforschung IAP nun eine nachhaltige Alternative entwickelt Die chemisch stabile hoch permeable Polymermembran hat einen Porendurchmesser von ca sieben Nanometern und ermöglicht die Filtration von kleinsten Partikelverunreinigungen Die Membran kann kundenspezifisch angepasst werden sodass sich das neue Verfahren einfach in bestehende Anlagen integrieren lässt Hintergrund zur PFAS-Problematik PFAS-Chemikalien sind giftig sie verschmutzen dauerhaft Wasser und Boden und reichern sich über die Nahrung und verbrauchernahe Produkte in Mensch und Tier an Die Europäische Chemikalienagentur ECHA hat daher im Februar 2023 den Vorschlag für ein Verbot der Herstellung der Verwendung und des Inverkehrbringens einschließlich der Einfuhr von PFAS im Europäischen Wirtschaftsraum veröffentlicht Die Halbleiterindustrie sieht das drohende PFAS-Verbot kritisch denn dort kommen diese Chemikalien unter anderem in Ätzund Reinigungsprozessen zum Einsatz aber beispielsweise auch als Membranen und Gehäuse in Filtern Laut vielen Herstellern sind die langlebigen perund polyfluorierten Chemikalien bislang alternativlos die Produktion der meisten Halbleiterprodukte sei dann nicht mehr möglich Forscherinnen und Forschern des Fraunhofer IAP in Potsdam ist es nun gelungen für einen Zulieferer der Halbleiterbranche eine PFASfreie Membran aus konventionellen spezifisch stabilisierten Polymeren zu entwickeln die PFAS-Membranen ersetzen kann Die Membran aus dem Polymer Polyacrylnitril PAN zeichnet sich durch eine hohe chemische und mechanische Stabilität aus Zudem weist sie einen extrem kleinen Porendurchmesser von etwa sieben Nanometern auf Das ist erforderlich Die neuartige PFASfreie Hightech-Membran kann kleinste Partikelverun - rei nigungen abfiltern und ermöglicht so die Fertigung von Halbleitern der nächsten Generation Bild Fraunhofer IAP Till Budde GMM-News IMpulse