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Nr 31–32 2021 www markttechnik de 3 Aktuell Nachrichten Fortsetzung von Seite 1 Fortsetzung von Seite 1 Neue Metrologie basierendes Metrologiesystem von Grund auf neu entwickelt das sich in situ einsetzen lässt« sagt Prakash Murthy Das Ergebnis ist „Aston“ Der Name ist eine Reverenz an den Chemiker und Physiker Francis William Aston der 1919 das Massenspektrometer erfunden hatte und 1922 mit dem Nobelpreis in Chemie ausgezeichnet wurde Eine solche Namensgebung verpflichtet Prakash Murthy ist überzeugt die damit verbundenen hohen Erwartungen einlösen zu können »Im Falle der Reinigung von Prozesskammern lässt sich damit die Zeit um nicht weniger als 80 Prozent reduzieren « Der Durchsatz einzelner Maschinen – besonders solche für die Abscheidung – ließe sich mit Aston in bestimmten Fällen um über 40 Prozent steigern »Selbst eine auf den ersten Blick geringe Verbesserung des Durchsatzes um 1 Prozent in einer Fab kann über das Jahr gerechnet zu Einsparungen von einigen 10 Millionen Dollar führen« sagt Prakash Murthy »Wir können dazu beitragen die Knappheit zu besiegen « Denn bis die zusätzlichen Kapazitäten von neuen Fabs am Markt spürbar werden vergehen zwei bis drei Jahre Werden neue Linien in bestehenden Fabs aufgebaut in denen freier Reinraum vorhanden ist dann dauert es immer noch mindestens ein Jahr Mit Aston würde sich schon nach einigen Wochen der Durchsatz spürbar verbessern Auch Risto Puhakka President von VLSIresearch ist überzeugt dass Atonarp ein echter Durchbruch gelungen ist »Es handelt sich wirklich um eine vollkommen neue Methode Insbesondere der Durchsatz von komplexen Ätzprozessen wie sie in der Fertigung von 3D-NAND-Speicher-ICs erforderlich sind lässt sich deutlich erhöhen« erklärte er im Interview Wenn sich der Durchsatz von einer NAND-Fab um 10 Prozent erhöhen ließe wäre dies bereits ein bedeutender Fortschritt Für moderne Fabs sei das eine sehr attraktive Aussicht Das Gleiche gelte für existierende Fabs die für den nächsten Prozessknoten aufgerüstet werden sollen Denn mit Aston können die existierenden Maschinen im Feld ohne Probleme nachgerüstet werden Prakash Murthy jedenfalls ist sich sicher dass gute Geschäfte auf Atonarp warten 26 000 Prozesskammern seien 2021 in Betrieb genommen worden das entspräche für die Metrologie einem Umsatzpotenzial von 1 Mrd Dollar Weit über 100 000 Prozesskammern würden heute in den Fabs arbeiten was einem weiteren Umsatzpotenzial bis 2024 von über 3 Mrd Dollar entspräche Im Moment zielt Atonarp vor allem auf den Einsatz in CVDund Ätz-Prozessen ab Sie wachsen derzeit pro Jahr um durchschnittlich 13 Prozent Was hinter dem Ansatz von Atonarp steckt erfahren Sie ab S 12 in dieser Ausgabe ha ■ Digitalisierung kleinste Detail durchzudeklinieren Bis dann das Mammutprojekt realisiert ist haben sich aber die Rahmenbedingungen wieder geändert Rauer »Besser ist es über Pilotprojekte oder Proofs of Concept erstmal ‚klein klein‘ die Anwendungsfälle abzuarbeiten « Im Markt Technik-Interview gibt Rauer Beispiele und Digitalisierungs-Tipps für Fertigungsunternehmen Das Interview Anwendungsbeispiele und nützliche Tools zur Digitalisierung in der Industrie finden Sie in unserem Thema der Woche ab Seite 18 ag ■ Internet of Things – vom Sensor bis zur Cloud Interessantes Programm Am 20 und 21 Oktober findet erneut unsere virtuelle Konferenz „Internet of Things – vom Sensor bis zur Cloud“ statt In diesem Jahr liegen die thematischen Schwerpunkte auf IoT-Plattformen KI Connectivity und Security Ergänzt werden diese Themen durch Vorträge über Geschäftsmodelle und das Retrofit bestehender Anlagen Den Abschluss bildet ein Vortrag von Alexander Richter und René Schneider von DB Systel die einen Einblick in die IoT-Systeme der Deutschen Bahn geben Die Veranstaltung findet gleichzeitig mit dem virtuellen Event „Edge Cloud Control“ statt das sich insbesondere auf die Aspekte des IoT im Umfeld von Automatisierung und Maschinenbau konzentriert Weitere Informationen finden Sie unter www iotkonferenz de Nutzen Sie den Frühbucherpreis er gilt noch bis zum 9 September 2021 st ■ 3-nm-Prozess von TSMC Apple und Intel sind erste Nutzer Apple und Intel werden die ersten sein die ihre Chips mithilfe der neuen 3-nm-Prozesstechnik von TSMC fertigen – sobald sie Anfang 2022 zur Verfügung steht Apple und Intel würden ihre Designs auf Basis des 3-nm-Prozesses bereits erstellen wie Nikkei Asia erfahren haben will Die Produktion soll in der zweiten Jahreshälfte 2022 starten Das zeige wie wichtig TSMC für die Chipindustrie der USA weiterhin sei Laut TSMC wird der 3-nm-Prozess die Rechenleistung der ICs gegenüber dem 5-nm-Prozess um 10 bis 15 Prozent erhöhen die Leistungsaufnahme sinke um 25 bis 30 Prozent Neue iPads von Apple werden vermutlich die ersten Geräte sein in denen die neuen 3-nm-Prozessoren arbeiten In der nächsten iPhone-Generation die Apple im kommenden Jahr auf den Markt bringt werden die Prozessoren der 4-nm-Zwischengeneration Einsatz finden Intel arbeitet laut Nikkei Asia an mindestens zwei 3-nm-Prozessor-Typen die für den Einsatz in Notebooks und in Servern für Datenzentren vorgesehen sind Damit wolle Intel Marktanteile zurückholen die an AMD und Nvidia verloren gegangen waren Die Massenproduktion der ICs solle Ende 2022 starten Die geplanten Stückzahlen dieser Chips lägen höher als die der Chips für die iPads von Apple Intel will mit der Hilfe von TSMC den Zeitraum überbrücken bis das Unternehmen wieder in der Lage sein wird die modernsten Chips in eigenen Fabs zu fertigen Den Start der eigenen 7-nm-Fertigung hat Intel auf 2023 verschoben Die Produktionsaufnahme des Xeon-Prozessors im eigenen 10-nm-Prozess hat Intel von Ende dieses Jahres auf das zweite Quartal 2023 verschoben Pat Gelsinger CEO von Intel beschreibt das Verhältnis zu Intel als „Coopetition“ also als Mischung aus Kooperation und Wettbewerb AMD deren Marktanteil von 11 Prozent 2019 auf über 20 Prozent im vergangenen Jahr kletterte wird die 5-nm-Chips für Notebook-Prozessoren im nächsten Jahr aufnehmen wie Nikkei Asia erfahren haben will Nvidia hatte in diesem Jahr angekündigt in den Markt für Server-Prozessoren einsteigen zu wollen – und sie ebenfalls mithilfe des 5-nm-Prozesses von Intel zu fertigen Ende 2023 sollen sie auf den Markt kommen ha ■