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48 Elektronik 06 2020 Mikroelektronik Es wird gerne behauptet dass Europa im weltweiten wissenschaftlichen Wettbewerb gerade in der Halbleitertechnik immer weiter zurückfällt Das mag in der Fertigung von Halbleitern mit kleinsten Strukturgrößen stimmen aber nicht bei der Halbleiterfertigungsausrüstung So beschäftigte sich der Europäische Part der IEDM-Keynotes mit der Halbleiterlithographie die weltweit bei der Abbildung fortschrittlichster Strukturen führend ist und die Marktführer TSMC Samsung und Intel erst in die Lage versetzt neue Prozessknoten zu erreichen beispielsweise TSMC die in einem eigenen Paper Die Skalierung geht mindestens zehn Jahre weiter International Electron Devices Meeting eine 5-nm-Technologie-Plattform unter Nutzung von EUV-Lithographie auf der IEDM vorstellten Martin van den Brink CEO von ASML beleuchtete in seiner Keynote den Beitrag den Lithographie zur weiteren Skalierung von Halbleiter-Chips leistet Ein wichtiger Beitrag zum Mooreschen Gesetz ist die Skalierung der Dimensionen von Halbleiterstrukturen die durch Fortschritte in der Fotolithographie ermöglicht wird Die Dichte der Halbleiterstrukturen hat in den letzten fünfzig Jahren enorm zugenommen Die Einführung der Extrem-UltraviolettLithographie EUVL in der Großserienfertigung High Volume Manufacturing HVM stellt sicher dass sich diese Zunahme der Dichte fortsetzen wird da die Industrie in eine neue Wachstumsphase bei Halbleitern eintreten wird die durch eine Explosion bei Medieninhalten und IoTgenerierten Daten in der Cloud mit KI angetrieben wird um neue Anwendungen und Dienstleistungen anzubieten Die Einführung von EUVL in HVM am 7-nm-Knoten der logischen integrierten Schaltungen in diesem Jahr wie der Einsatz bei der Herstellung von mobilen Prozessoren wie dem Exynos 9825 verfügbar in Samsung Galaxy Note 10 und Die Fortschritte in der Lithographie zur Fertigung von integrierten Schaltungen verlängern die Skalierung nach Moores Law um mindestens weitere zehn Jahre EUV-Lithographiesysteme mit hoher numerischer Apertur machen es möglich Von Gerhard Stelzer Bild Dragon Images | Shutterstock